テクノロジー

若さのエネルギーと想像力で世界の半導体技術をリードします。

Enabling Tech

研究開発と量産の高度化を支える基盤技術
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分析・信頼性

物性分析により原因を究明し、
プロセスと材料の継続的な改善を推進します。

#構造/組成分析 #不純物分析
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シミュレーション

プロセス内の熱、応力、流動現象をモデル化し、最適なプロセス条件の範囲を導き出すことで、開発期間とコストを削減します。

#熱構造解析 #流動/粒子解析 #最適化解析
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AI

データに基づいて異常の予兆を検知し、
プロセス最適化に向けた改善策を迅速に導き出します。

#Physics AI #ディープラーニング #生成AI #sLLM
分析・信頼性ソリューション

構造や組成など、多角的な素材の物性評価により不良の根本原因を先制的に究明し、最適なプロセスおよび素材改善の方向性を提示する統合分析ソリューションです。

  • 表面汚染度分析

    表面の微小汚染度およびコーティング酸化膜厚の定量分析

    極微量不純物制御
    微細パーティクルおよび不純物の
    定性・定量評価
    表面・界面精密測定
    高分解能分析に基づくコーティング
    および酸化膜厚の均一性測定
  • 多角的素材物性および構造分析

    微細構造・成分・物性のデータ化を通じた
    耐久性検証

    結晶性分析
    結晶成長の方向に応じた特性および
    影響分析
    微細構造および成分分析
    結晶粒に基づく構造把握と内部欠陥の確認
    物理的・機械的特性評価
    素材の機械的・熱的・電気的複合物性の測定
  • 分析用試料前処理技術

    ダメージのない試料加工による高精度データの確保

    物理的ダメージの最小化
    分析目的に合わせた表面精密制御
    (反り、粗さ、厚さなど)
    データ信頼性の確保
    歪みのない前処理による最終分析精度の向上
シミュレーションソリューション

仮想プロセスシミュレーションにより素材の変化を予測し、最適な条件を導出することで、開発期間とコストを削減し品質競争力を確保するソリューションです。

  • 熱構造および動力学解析
    構造安定性の事前検証
    コア設備の動作限界および構造安定性を先制的に検証
    熱・物理シミュレーション
    プロセス条件別の内部温度分布、熱変形、および衝突の事前予測
  • 流体および粒子解析
    コーティング品質予測
    炉内気流の精密解析による膜厚と蒸着均一性の把握
    汚染源の遮断
    微小粒子の挙動分析を通じたパーティクル制御
AIソリューション

AI技術により、部品設計や製造プロセスの結果を迅速かつ的確に予測します。
膨大なデータを分析して最適なプロセスレシピを導き出し、不良の未然防止と開発効率の向上につなげます。

  • パラメータと結果の関係モデル化
    主要影響因子の導出
    AIが過去のデータを分析し、主要なパラメータと結果との関係を
    明らかにします。
  • リアルタイム予測・最適化
    コア工程の最適化および異常検知
    AIがプロセス・設計データを活用し、品質予測、
    プロセス条件の最適化、異常検知をリアルタイムで行います。