STEP 01
STEP 02
STEP 03
STEP 01
고순화 & CVD
결함, 균일도, 조성을 정밀 제어하는 공정조건을 확립하여 고품질 반도체용 부품을 제조합니다.
#SiC/TaC/PyC #CVD증착 #Chamber설계 #고순화
STEP 02
세라믹 정밀가공
표준화된 가공 조합으로 맞춤형 형상과 조도를
구현하며 데미지와 잔류응력을 최적화합니다.
#연삭/형상가공 #CMP #밀링 #선반
STEP 03
불순물 세정
잔류 파티클과 오염을 획기적으로 저감하기 위해
세정 레시피와 조건을 표준화합니다.
#습식/초음파세정 #산화세정